半導(dǎo)體制造設(shè)備需要用到一種高潔凈度的真空插板閥，型號(hào)：DN40；材質(zhì)：鋁。該閥門通過電動(dòng)來實(shí)現(xiàn)閥門開閉，所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)需要與閥體內(nèi)腔氣體隔絕，以防止運(yùn)動(dòng)摩擦產(chǎn)生顆粒對(duì)內(nèi)腔氣體污染，且使用工況對(duì)閥門打開時(shí)需實(shí)現(xiàn)“真正的直通”。閥門需滿足使用溫度≤150℃，潔凈度達(dá)到國標(biāo)1級(jí)，首次保養(yǎng)次數(shù)≥1百萬次，閥門開閉時(shí)間≤1s，整體漏率≤2×10^-8Pa·L/s，壓力1*10⁵pa~1*10^-6pa。

目前已完成相關(guān)專利查閱工作，正處于方案設(shè)計(jì)階段。

投入人力：設(shè)計(jì)研發(fā)團(tuán)隊(duì)和試制調(diào)測(cè)團(tuán)隊(duì)。

生產(chǎn)條件：已經(jīng)有用于半導(dǎo)體行業(yè)的閥門小批量生產(chǎn)。